盛美半导体装备拓展了w88体育平台300mm立式炉半导体装备产物组合

【TechWeb】3月26日动静,作为半导体制造与先辈晶圆级封装规模中领先的装备供给商,盛美半导体装备克日公布,为其不绝成长的300mm Ultra Fn立式炉干法工艺装备产物系列,增进了以下半导体制造工艺:非掺杂的多晶硅沉积、掺杂的多晶硅沉积、栅极氧化物沉积、高温氧化和高温退火。盛美将于3月17日至19日在上海新国际博览中心进行的SEMICON China 2021的3659号展位上展示这些技能。

盛美半导体设备拓展了w88体育平台300mm立式炉半导体设备产品组合

盛美先前已宣布了应用于氧化物、氮化硅(SiN)低压化学气相沉积(LPCVD)和合金退火工艺成果的立式炉体系,基于该可设置的立式炉平台,盛美开拓了上述新成果。支持这些新应用的立式炉装备现已交付或估量延续于2021年上半年内交付到客户端。

“我们的计谋始终是找到半导体制造行业中具有高增添潜力的市场和应用,而且与我们的客户相助,开拓出先辈技能来办理这些题目。”盛美半导体装备董事长王晖暗示:“此刻,我们可以或许举办80%以上的批式热工艺,包罗用于SiN,HTO的LPCVD工艺,非掺杂多晶硅和掺杂多晶硅沉积,栅极氧化物沉积工艺,高达1200摄氏度的超高温氧化和退火工艺。这一新产物线的敏捷导入,也进一步证明白我们与焦点客户相助计谋的乐成。"

跟着半导体器件体积的不绝缩小和伟大度的增进,Ultra Fn体系的计划始终是为了寻求满意客户需求的最佳办理方案。当今的器件计划的高伟大度、细小几许尺寸,对热工艺的温度节制的均一性与不变性提出了高要求,这对晶圆良率至关重要。为了满意这些要求,Ultra Fn加热器开拓了独占的节制算法,使该平台具有不变的温度节制机能。

盛美对其可机动设置的Ultra Fn装备举办了成果扩展,仅对部门模块和机关举办了一些变动即可合用于这些新工艺应用。该可设置的体系计划,与盛美现有的氧化物、氮化物沉积体系大部门硬件可通用,从而低落了总本钱。该体系可便捷地改换组件,以实现差异客户的定制化工艺需求。

盛美的第一台SiN LPCVD已于2020年头交付给一家重要的逻辑制造客户,并在该工场举办了大局限量产验证。同时,w88平台网址,另一台微托级超高真空成果的合金退火工艺立式炉装备已于2020年底交付给一家功率器件制造客户,并已完成出产手段的验证。而此次宣布的其他新成果的装备也延续开始在客户端举办测试,估量在2021年内取得验证功效。

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